力晶科技公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I602650專利 |
| 公告日期 : 2017-12-28 |
1.專利、商標、著作或其他智慧財產權之內容:化學機械研磨之固定環2.專利、商標、著作或其他智慧財產權之取得日期:106/10/213.取得專利、商標、著作或其他智慧財產權之成本:NT$ 54,2504.其他應敘明事項:本發明係關於一種用於化學機械研磨之固定環，其取代修整器，該固定環包含一環形件，其具有一底表面，以與一研磨墊接觸，該底表面包含至少一通道以及至少一凸紋區域，該至少一凸紋區域位於相鄰該至少一通道之間。該環形件更包含複數個磨料微粒，配置於該至少一凸紋區域上。<摘錄公開資訊觀測站> |
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