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愛迪亞GASSMITH系列 淨化半導體廢氣
新聞發生日期:2017-09-18 | 相關公司:愛迪亞科技 |
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愛迪亞科技(ICS)總經理譚鳳家表示,半導體製程中,廢氣處理是重要的一環,今年配合半導體展所展出的「GASSMITH系列—乾吸附式Dry Scrubber」不僅能有效淨化製程所產生的有毒氣體,更能降低成本、避免產生粉塵。 她說,GASSMITH GS-400使用PLC與觸控面板介面設計,採取雙槽式設計,即使更換反應器,也不需要停止產線,其副產物「固態鹽類」為無毒性,可直接排放,並且處理不同流量的多樣氣體,藉由氣體的使用量,達到精準管控運作成本。為滿足客戶需求,持續提供良好服務,該公司亦代理義大利Solvay Solexis氟素油與冷卻液、德國BASF藥劑、韓國GnBS Plasma Scrubber、日本廣田株式會社 SSD&HDD測試機;美國Artesis馬達預知系統、美國BriskHeat的加熱套及AMPRO FILM安普菲科技 SLR低反射膜等。<摘錄經濟> |
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